灣區(qū)時(shí)訊 11月15日，第二十五屆高新技術(shù)成果交易會(huì)（高交會(huì)）在深圳會(huì)展中心舉辦。北京中科科儀股份有限公司作為中國(guó)尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)領(lǐng)軍者攜其全資子公司科儀光電（原中科科儀電鏡事業(yè)部）受邀出席，其核心產(chǎn)品掃描電子顯微鏡及國(guó)產(chǎn)真空設(shè)備解決方案精彩亮相。

相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡原理

在展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，科儀光電帶來(lái)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100。據(jù)了解，該款掃描電鏡是中科科儀承擔(dān)科技部國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)“場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”研制成果的一部分。該設(shè)備目前已完成科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化落地，并形成批量銷(xiāo)售，深受各行業(yè)用戶好評(píng)，為教學(xué)、科研和經(jīng)濟(jì)發(fā)展服務(wù)，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡是納米技術(shù)、生物技術(shù)、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)研究的重要工具，在半導(dǎo)體集成電路加工、微機(jī)電系統(tǒng)、微型傳感器等信息技術(shù)支撐領(lǐng)域和環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用，廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、礦物、冶金、高分子、復(fù)合材料、微生物、新能源材料的表面形貌進(jìn)行觀察及微區(qū)的點(diǎn)、線、面成分分析；同時(shí)，場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡在蟲(chóng)害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、產(chǎn)品質(zhì)量鑒定等方面也有廣泛的應(yīng)用，對(duì)于我國(guó)的基礎(chǔ)科學(xué)研究、生產(chǎn)工藝控制、各分類學(xué)科的研究有著不可替代的重要地位。

針對(duì)基礎(chǔ)科學(xué)研究和高精尖工業(yè)制造對(duì)國(guó)產(chǎn)場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡的迫切需求，2013年，中科科儀牽頭，聯(lián)合北京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所、中國(guó)科學(xué)院生物物理研究所、國(guó)家環(huán)境分析測(cè)試中心、清華大學(xué)等單位，承擔(dān)國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)“場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”，在2014年成功推出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)肖特基場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡KYKY-EM8000，并在此基礎(chǔ)上提升電子光學(xué)系統(tǒng)綜合性能，于2017年推出了國(guó)產(chǎn)高端場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100，分辨率優(yōu)于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解決了高分辨率電子光學(xué)成像系統(tǒng)、系統(tǒng)集成調(diào)試等關(guān)鍵技術(shù)，成為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)、達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品技術(shù)水平、具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的肖特基場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡。

KYKY-EM8100場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的技術(shù)優(yōu)勢(shì)主要有以下三個(gè)方面：

第一，自主設(shè)計(jì)制造了低像差物鏡。研發(fā)團(tuán)隊(duì)利用電子光學(xué)仿真軟件對(duì)透鏡結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真研究，獲得了最佳幾何結(jié)構(gòu)參數(shù)，并通過(guò)突破高飽和磁感應(yīng)強(qiáng)度材料的高精度加工工藝和熱處理工藝，滿足了場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡磁透鏡加工的設(shè)計(jì)要求及工作性能要求，大幅提升呈像質(zhì)量與準(zhǔn)確性。

第二，突破了電子束鏡筒加速技術(shù)。低能電子束在電子光學(xué)鏡筒中運(yùn)行時(shí)，周?chē)h(huán)境磁場(chǎng)、振動(dòng)等對(duì)其會(huì)產(chǎn)生干擾明顯。針對(duì)這一問(wèn)題，研發(fā)團(tuán)隊(duì)攻破了電子束鏡筒加速技術(shù)，解決了低能電子束在電子光學(xué)鏡筒中運(yùn)行時(shí)抗干擾能力大大降低問(wèn)題，保障了低加速電壓下的高質(zhì)量成像。

第三，自主研制了電子光學(xué)智能化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)燈絲加熱、自動(dòng)偏壓、自動(dòng)孔徑角、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)亮度/對(duì)比度等電子光學(xué)智能化控制功能，還實(shí)現(xiàn)了圖像增強(qiáng)、圖像銳化、樣品尺寸測(cè)量、形貌擬合、顆粒密度分析等功能，大大提升了產(chǎn)品的功能性與使用便捷性，助力打好科技儀器設(shè)備國(guó)產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn)。

通訊員/王楨楠

責(zé)任編輯/劉秀